探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO 膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配探頭， 也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

BEST-300C 型材料電導(dǎo)率測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試試導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。

主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動/手動量程可選；電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便可靠；具有零位、滿度自校功能；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電，適合手持式變動場合操作使用！

數(shù)字電壓表：

⑴量程： 20.00mV

⑵誤差：±0.2%FSB±2LSB

⑶*分辨力：1.0µV

顯示: 4 位數(shù)字顯示，小數(shù)點(diǎn)自動顯示

數(shù)控恒流源

⑴電流輸出：直流電流 0.1µA～1.0A，系統(tǒng)自動調(diào)整。

⑵誤差：±0.2%FSB±2LSB

四探針測試探頭：

有選配的型號確定，詳見《不同半導(dǎo)體材料電阻率/方阻測試的四探針探頭和測試臺選配方

法》

電源：

功 耗：< 15W，輸入:220V±10% 50Hz±2%

本儀器工作條件為： 溫 度： 0-40℃ 相對濕度： ≥60%

工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。

 外形尺寸：主機(jī) 245mm（長）×220 mm（寬）×95mm（高）

BEST-300C 測試儀能夠測量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻（薄片電阻率）R 口

以及體電阻 R，測量時需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。

本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測試的基本修正系數(shù)設(shè)定， 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定，極大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式，方便了用戶同時測試多個參數(shù)，提高測試效率。

對于電阻器類樣品，用四端子測試線按照圖 5-1 連接好樣品，對于半導(dǎo)體材料，測試前表面應(yīng)進(jìn)行必要的處理。如圖 5-2，對于硅材料要進(jìn)行噴砂或清潔處理，對于薄膜類的要保持表面清潔，必要的要進(jìn)行清潔。樣品放在平整的臺面上。將測試探頭的插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來，連接好探頭和主機(jī)。將電源開關(guān)置于開啟位置，數(shù)字顯示亮。儀器預(yù)熱 15 分鐘以上，增加讀數(shù)穩(wěn)定性。

在設(shè)定模式下（設(shè)定完畢，保存好數(shù)據(jù)后），選擇測量類別（電阻率ρ、方塊電阻

（薄片電阻率）R 口或體電阻 R 中三選一，切換儀器到“測量”模式，窗口左側(cè)“測量” 模式燈亮。電阻測量,注意良好接觸，電壓測試端在內(nèi)側(cè)；半導(dǎo)體參數(shù)測試，將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中；由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值。

注意！測量狀態(tài)中，電流量程默認(rèn)為自動方式，也可調(diào)整為手動方式，手動方式下， 電流量程適合的，儀器會穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)，電流量程不適合的會給出超量程或欠量程閃爍提示，對于超量程，說明電流過大，要調(diào)到較小電流檔；對于欠量程，說明電流過小， 要調(diào)到較大電流檔。